| 칭화대, 첨단 레이저간섭측정기기 개발 성공 | ||
|
||
 최근 칭화대학 정밀기기학부 학술위원회 리옌(李岩) 연구팀은 포토리소그래피 등 엄격한 측정환경에서 다자유도 간섭측정을 목표로 프리즘 오차벡터분석에 기반한 단량체 통합 다축 간섭계 부품 설계방법을 제안함과 아울러 2축에서 5축까지의 계열화 단량체형 다축 간섭계 부품을 개발했다. 해당 성과는 관련 분야에서 외국기업의 독점 및 중국에 대한 수출규제를 무력화시켰을 뿐만 아니라 레이저간섭측정 이론 및 기술을 보완하는 등 매우 중요한 기술, 경제 및 사회적 효익이 있다. 레이저간섭측정은 초정밀 계측제어 및 마이크로-나노 규모의 측정을 구현하는 가장 효과적인 수단이다. 연구팀은 "초대규모 집적회로 제조장비 및 일괄 공법"(02특별프로젝트) 등 국가중대과기특별프로젝트의 지원 하에 "높은 측정속도의 다축 고해상도 레이저간섭측정 기술 및 기기" 프로젝트를 완성해 일련의 핵심 기술적 어려움을 극복함과 아울러 측정과 관련한 새방법, 시스템 및 기기를 형성했다. 상기 프로젝트를 통해 간섭계 부품에서부터 신호검출·복조, 다자유도 탐지방안 설계에 이르기까지의 완전 자체적으로 개발한 높은 측정속도, 다축 큰 측정범위, 고해상도 레이저간섭측정시스템을 형성했다. 지금까지 연구팀이 개발한 포토리소그래피용 이중 주파수 레이저 간섭계 시스템은 중국산 포토리소그래피웨이퍼 스테이지 프로토타입 개발 과정 응용을 비롯하여 누계로 50여 대에 응용되었다. 동 시스템은 포토리소그래피 이중 웨이퍼 스테이지 프로토타입의 정밀측정 요구를 만족시켰고 국외 첨단 간섭계에 대한 의존도를 낮추었으며 중국에 대한 수출규제로 인한 제품 개발의 리스크를 줄였다. 이외, 연구팀이 개발한 서브나노미터 해상도의 추적 가능한 헤테로다인 간섭계는 레이저 다차원 측정시스템 연구·개발의 비교점검 연구에 응용되어 레이저 다차원 측정시스템의 비선형 오차 원인을 찾아냈다. 또한 전문적 전기회로로 교정하는 등 레이저 다차원 측정시스템 관련 유닛의 성능을 향상시켰다. 연구팀이 제안한 추적 가능한 간섭측정 새방법은 아보가드로 상수를 이용한 몰단위 재정의에 기여를 했다. 정보출처 : http://www.xinhuanet.com/science/2019-06/05/c_138118082.htm |
SEARCH
- 정책동향
- 이슈리포트
- 통계DB
- 통계DB