| 자기칩 고정밀도 검사에서 새로운 혁신 달성 | ||
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  베이징항공우주대학교 집성회로대학 연구팀은 5개 원자층 두께의 나노 자기필름에 “백년, 중국 ‘칩’”이라는 글자를 새겼다. 해당 두께는 일반 인쇄용지의 십만분의 일에 해당하다. 연구팀은 자체 개발한 웨이퍼급 자기광 커(Magneto optic Kerr) 검측 장비를 이용하여 미세한 자석 바늘끝으로 필림에 글자를 썼다. 결과 글자의 색상 대비도가 일치하고 필적이 선명하며 필림의 균일성이 양호했다. 평탄도 검사가 완료된 후, 나노 필름을 소자화하고 패키징 후 칩을 형성할 예정이다. 자기칩은 고신뢰성의 정보 저장 모듈 및 고감도의 자기신호 감지 모듈로 사용되어 항공기, 위성의 제어 시스템뿐만 아니라 핸드폰 전자 나침반, 자동차 자동조종 등 분야에 응용할 수 있다. 자기칩 생산에서 자기필름 검사가 핵심 기술이다. 검측 및 속도 방면에서 기술 혁신을 이룬 해당 장비는 이미 과학연구 분야에 응용 되었으며 2021년 10월에 산업 분야에 상용화될 예정이다. 정보출처 : http://www.stdaily.com/index/kejixinwen/2021-06/29/content_1165043.shtml |
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