| 세계 최대 500m 초고진공관로 연구실로 우주환경 연구 | ||
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 세계 최대 진공 상호연결형 과학연구 장치가 현재 쟝쑤(江蘇)성 쑤저우(蘇州)공업단지에서 한창 건설 중이다. 세계 최초의 재료 성장, 디바이스 제조, 테스트·분석 통합형 나노 분야 거대과학 장치인 진공 상호연결형 종합 나노기술 실험기지(Vacuum Interconnected Nanotech Workstation)는 완전한 진공환경 나노 디바이스 연구개발 플랫폼으로서 마치 기존의 가공설비를 우주에 통째로 올려 보낸 것과도 같다. 동 실험기지는 전체 길이가 약 500 m인 초고진공 관로를 사용하여 100여 대의 재료 성장, 디바이스 제조, 테스트·분석용 대형 기기설비를 상호 연결시킨다. 이로써 다양한 설비 간 샘플 전달 과정에서 샘플 표면 산화, 오염, 외계 대기환경의 파괴를 막는다. 또한 초고성능 공간 해상도, 시간 해상도, 에너지 분해능, 질량 해상도 등 첨단 기기설비를 사용하여 물질 고유 특성을 연구함으로써 양자재료 설계·제조·특성화, 포스트 무어의 법칙에 맞춘 디바이스 가공, 테스트·분석을 달성한다. 뿐만 아니라 새로운 재료/공법/구조/기능을 연구 개발함과 아울러 3세대 반도체 프로세스 패키지를 형성할 전망이다. 동 실험기지는 중국과학원 쑤저우나노기술·나노바이오닉스연구소에 기반하고 칭화대 쉐치쿤(薛其坤) 원사 연구팀, 중국과학원 다롄(大連)화학물리연구소 바오신허(包信和) 원사 연구팀이 연합으로 구축한다. 1기 공사는 중국과학원, 쟝쑤성, 쑤저우시, 쑤저우공업단지가 공동으로 건설하여 2018년에 완공할 예정이며 건설비용은 3.2억 위안(한화로 약 518억 5,920만 원)이다. 1기 공사가 완공한 후, 30여 대 설비를 연결하여 100 m 진공 관로를 형성하게 된다. 전체 실험기지 건설 총예산은 15억 위안(한화로 약 2,430억 9,000만 원)이다. 세계 나노 분야의 8대 대표적 산업파크 중 하나인 쑤저우공업단지에 동 실험기지를 건설함은 진공 조건에서의 상호연결 통합 및 일부 주요 프로젝트 검증을 통해 기존 기기설비의 기능적 한계를 뛰어넘고 재료 제조, 테스트·분석, 마이크로나노 가공 공법 등 면에서 시너지 효과를 달성하여 과학연구 및 전략적 신흥 산업 발전을 위해 선진적이고 개방적인 플랫폼을 제공하는 것이다. 정보출처 : http://www.stdaily.com/index/yaowen/2017-03/28/content_528060.shtml |
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