| 중국과학원, 리튬 탄탈레이트 광자칩 개발 성공 | ||
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□ 리튬 탄탈레이트 광자반도체 저비용 양산기술 확보(4.21)
○ 중국과학원 상하이마이크로시스템 정보기술연구소 오신(欧欣) 연구팀은 리튬 탄탈레이트 이질 집적 웨이퍼 및 고성능 광자칩 개발에 성공
- 리튬 탄탈레이트는 광학 및 전자장치에 사용되는 결정성 물질로, 강한 광전 변조 능력, 약한 복굴절, 강한 광굴절 내성 등의 특징을 보유
- 연구팀은 이질 집적 기술을 활용하여 수소 이온 주입하고 웨이퍼 결합 방법을 통해 고품질 실리콘 탄탈산 리튬 단결정 박막 이질 웨이퍼를 제조
- 리튬 탄탈레이트는 니오브산 리튬과 마찬가지로 우수한 전기광학 변환 특성을 지니고 있으며 향후 음파 발생기와 광학적 스위치, 레이저 등의 분야에 응용될 전망
 <참고자료>
上海微系统所开发新型光学“硅”与芯片技术
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