| 고순도 희토금속, 합금 표적재료 및 그 제조 기술에서 중요한 성과 달성 | ||
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  스퍼터링 박막재료인 고순도 희토금속과 합금 표적재료는 희토 기능성소재 및 그 소자의 핵심 재료로 집적회로, 신형 디스플레이, 이동통신 등 첨단기술 분야에서 광범위하게 사용되고 있으며 첨단기술 산업 혁신에 중요한 지원를 제공한다. 그러나, 중국의 희토금속과 표적재료 생산 기술은 설비가 상대적으로 낙후하고 제품 등급이 낮으며 하이엔드 응용시장과 핵심기술은 해외업체에 의해 독점되고 있다. 유옌(有研)과학기술그룹유한회사와 유옌희토신재료주식유한회사가 공동으로 개발한 “고순도 희토금속, 합금 표적재료 및 그 제조 기술”은 2019년도 중국유색금속공업과학기술 1등상을 수상했다. 해당 프로젝트는 중국 첨단기술산업의 하이엔드 희토금속, 합금 표적재료에 대한 절박한 수요를 충족시키기 위해 전자 정보 등 희토 표적재료 사용 제품과 관련 공통 핵심 기술의 어려움을 극복하고 자체적으로 희토금속과 표적재료의 산업화 제조 기술 및 특수 생산 설비를 개발했다. 자체 개발한 전자 정보는 이트륨, 에르븀, 란타늄, 가돌리늄, 스칸듐 표적재료 및 OLED용 고순도 이테르븀 증발 재료를 사용했고 순도가 4N 이상이며 60가지 불순물 원소 총량이 100ppm 미만이다. 그 중, 고순도 이테르븀 증발 재료 제품은 중국의 여러 OLED 제조업체들이 응용되고 있다. 높은 스칸듐 함량(Sc>20%)의 알루미늄-스칸듐 합금 표적재료 제품은 순도가 3N5 이상이다. 고성능 희토류 영구자석 테르븀과 디스프로슘 표적재료의 대규모 생산을 달성하고 세계 시장 점유율이 85% 이상이다. 고순도 희토금속과 금속 표적재료의 국산화 제조는 중국산 칩과 그 소자 및 고성능 자성재료 개발을 위한 핵심 원자재 공급을 보장할 수 있다. 정보출처 : https://mp.weixin.qq.com/s/dfuBX1Xr2H8RXOpUj2cjvw |
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